[发明专利]纯化硅烷的方法有效
申请号: | 201310373771.0 | 申请日: | 2013-08-23 |
公开(公告)号: | CN103449444A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 万烨;张升学;严大洲;毋克力;肖荣辉;汤传斌;杨永亮 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋合成 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种纯化硅烷的方法,该方法包括:对硅烷进行第二精馏纯化处理,以便获得经过纯化的硅烷气体和四氯化硅,其中,所述硅烷以歧化反应产物的形式提供,所述第二精馏纯化处理是在低温精馏塔中进行的,其中所述低温精馏塔中的温度为-60~-80摄氏度,压力为0.6~1.0MPa,回流比为5~20:1。利用该方法能够有效地纯化硅烷,并且该方法工艺简单、安全、节能环保、成本低,且经过纯化的硅烷纯度高,产生的废渣能够再利用。 | ||
搜索关键词: | 纯化 硅烷 方法 | ||
【主权项】:
一种纯化硅烷的方法,其特征在于,包括:对硅烷进行第二精馏纯化处理,以便获得经过纯化的硅烷气体和四氯化硅,其中,所述硅烷以歧化反应产物的形式提供,所述第二精馏纯化处理是在低温精馏塔中进行的,其中所述低温精馏塔中的温度为‑60~‑80摄氏度,压力为0.6~1.0MPa,回流比为5~20:1。
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