[发明专利]表面处理装置以及槽体

摘要

本发明提供表面处理装置以及槽体。为了实现表面处理装置的简单化、小型化和镀层质量的提高、电解液量的减少，槽体（100）具备：液接收部（2），其用于接收顺着板状工件（10）落下的处理液（Q）；液滞留部（4），其用于使欲与板状工件（10）接触的处理液（Q）滞留；以及液流出部（6），其用于使从液滞留部（4）溢出并流下的处理液（Q）朝向板状工件（10）流出。液流出部（6）构成为，使末端（6a）从与液滞留部（4）的侧壁（4a）（或液接收部（2）的侧壁（2a））连结的连结部（5）突出。

主权项

1.一种表面处理装置，所述表面处理装置具备：搬送用吊架，其用于搬送被处理物；槽体，其用于在内部使处理液附着于被所述搬送用吊架搬送的所述被处理物；以及搬送机构，其将所述搬送用吊架搬送到所述槽体内，所述表面处理装置的特征在于，所述槽体具备：液滞留部，其设在比液接收部靠上方的位置，用于使欲与所述被处理物接触的所述处理液滞留；突出部，其是构成为从与所述液滞留部或所述液接收部连结的连结部突出的突出部，所述突出部的末端设置成，从与所述液滞留部或所述液接收部连结的连结部朝向大致水平方向或者相对于水平方向向下倾斜，由此所述突出部以使从所述液滞留部溢出的所述处理液顺着表面从所述突出部的末端朝向所述被处理物的表面流出的方式进行引导；以及所述液接收部，其用于接收与所述被处理物接触后的处理液。