[发明专利]缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法在审
| 申请号： | 201310377121.3 | 申请日： | 2013-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN103630542A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 大庭博明 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 宋俊寅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 发明的缺陷检测装置包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由摄像头输出的电信号。图像处理装置使用从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。由于使用多个信号各自的图像对比度中较大的对比度来检测缺陷部，因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部，也能够检测出缺陷部，而不会使灵敏度显著降低。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 修正 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检测装置，包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由所述摄像头输出的电信号，所述图像处理装置使用从来自所述摄像头的电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测所述基板的缺陷部。
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