[发明专利]一种触摸屏引线的加工工艺有效
| 申请号： | 201310387333.X | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN103451665A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李林波 | 申请（专利权）人： | 东莞市平波电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F17/00 | 分类号： | C23F17/00;C23C14/34;C23C14/14;C23F1/26 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 李玉平 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及触摸屏引线加工技术领域，具体涉及一种触摸屏引线的加工工艺，它以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300-400埃，控制Al中间层的厚度为2400-2600埃，控制Mo表层的厚度为400-500埃；然后采用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，其中的硫酸对Al层起到了一定程度的钝化作用，减缓了Al层的刻蚀速度，用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，醋酸钠钠起到了缓冲剂的作用，使Al层的刻蚀速度得到控制，本发明工艺简单，只用过两次蚀刻液进行蚀刻就能使刻蚀后的Mo-Al-Mo触摸屏引线在断面处为斜坡状的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触摸屏 引线 加工 工艺 | ||
【主权项】：
一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：它包括以下工艺步骤：步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300‑400埃，控制Al中间层的厚度为2400‑2600埃，控制Mo表层的厚度为400‑500埃；步骤B、用磷酸‑硫酸‑硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；步骤C、用磷酸‑醋酸钠‑硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo‑Al‑Mo触摸屏引线。
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