[发明专利]一种超细β碳化硅及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201310393354.2 申请日: 2013-09-02
公开(公告)号: CN103466624A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 李新家;贾明;马欢;曹恒 申请(专利权)人: 西安通鑫半导体辅料有限公司
主分类号: C01B31/36 分类号: C01B31/36
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710300 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种超细β碳化硅的制备方法,包括(1)混合样品;(2)高温反应;(3)煅烧除炭;(4)酸碱洗除杂四个步骤,其工艺步骤简单,操作方便,所制备的超细β碳化硅粒径为3μm左右,成本低、无α相碳化硅、杂质含量低、粒度分布均匀,β碳化硅含量在98%以上。制备出的超细β碳化硅可为电子、信息、精密加工技术、军工、航空航天、高级耐火材料、特种陶瓷材料、高级磨削材料和增强材料等领域提供优质的原料。
搜索关键词: 一种 碳化硅 及其 制备 方法
【主权项】:
一种超细β碳化硅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)混合样品:将水洗好的硅源和碳源按1:(0.2~2)的比例混合,并加水搅拌均匀,过滤,烘干,得到样品A;2)高温反应:将样品A装入坩埚,在样品A上铺一层活性炭;放入高温炉内,在1200~1800℃的温度下保温1~10h,反应完后得到样品B;3)煅烧除炭:将样品B粉碎过20目筛网后,放入瓷坩埚内,然后在400~900℃的温度下煅烧1~10h,除去游离炭,得到样品C;4)酸碱洗除杂:将样品C倒入球磨罐,加水球磨;再向球磨完的样品溶液中加入NaOH,使样品溶液的碱浓度达到1~20%,并加热;将加碱反应后的样品过滤水洗,水洗至滤液的电导率为100μS/cm以下,pH值为9以下;取出水洗后的样品并加水搅拌,再向其中加入无机酸,使溶液酸浓度达到1~10%,并加热;待反应完后过滤砂浆,对滤饼进行水洗、烘干处理之后,过500目筛网,得到超细β碳化硅。
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