[发明专利]圆盘状基板的形状测定装置及其方法在审
| 申请号： | 201310394839.3 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103673919A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 土屋诚 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种圆盘状基板的形状测定装置，能够高速且高精度地测定圆盘状基板的圆周边缘的形状。圆盘状基板的形状测定装置具备：测定部，不与圆盘状基板的圆周边缘接触地测定所述圆周边缘的形状；计算部，使用基于所述圆周边缘的形状的测定数据而提取的边缘上的多个点数据，计算与所述圆周边缘近似的近似圆的形状数据；输出部，输出由所述计算部计算出的形状数据；搬出/搬入机构，将圆盘状基板从收纳容器搬出，并且在进行了所述圆周边缘的形状的测定后将所搬出的圆盘状基板搬入所述收纳容器；以及移动机构，使所述收纳容器与所述搬出/搬入机构的相对位置移动，以使所述搬出/搬入机构能够将收纳在所述收纳容器中的其他圆盘状基板搬出/搬入。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状基板 形状 测定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种圆盘状基板的形状测定装置，其特征在于，具备：测定部，不与圆盘状基板的圆周边缘接触地测定所述圆周边缘的形状；计算部，使用基于所述圆周边缘的形状的测定数据而提取的边缘上的多个点数据，计算与所述圆周边缘近似的近似圆的形状数据；输出部，输出由所述计算部计算出的形状数据；搬出/搬入机构，将圆盘状基板从收纳容器搬出，并且在进行了所述圆周边缘的形状的测定后将所搬出的圆盘状基板搬入所述收纳容器；以及移动机构，使所述收纳容器与所述搬出/搬入机构的相对位置移动，以使所述搬出/搬入机构能够将收纳在所述收纳容器中的其他圆盘状基板搬出/搬入。
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