[发明专利]PM2.5检测装置及其制造方法有效
申请号: | 201310400323.5 | 申请日: | 2013-09-05 |
公开(公告)号: | CN103454194A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 毛海央;谌灼杰;欧文;吴文刚 | 申请(专利权)人: | 江苏物联网研究发展中心 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种PM2.5检测装置及其制造方法,其包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构,所述颗粒分离机构的出口端与PM2.5检测机构的入口端连接,所述PM2.5检测机构包括检测腔体,所述检测腔体的外侧设置检测光源及光探测器,检测光源发出的光线通过检测腔体上的光入射窗口进入检测腔体内,光探测器通过检测腔体上的光出射窗口接收检测腔体内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线,所述光探测器根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。本发明与常规MEMS工艺相兼容,工艺简单方便,可提高PM2.5检测的精度及有效性,小型化的结构使其具有便携性和实时检测的特点,适应范围广,安全可靠。 | ||
搜索关键词: | pm2 检测 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种PM2.5检测装置,其特征是:包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构(A)以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构(B),所述颗粒分离机构(A)的出口端与PM2.5检测机构(B)的入口端连接,所述PM2.5检测机构(B)包括检测腔体(18),所述检测腔体(18)的外侧设置检测光源(20)及光探测器(21),检测光源(20)发出的光线通过检测腔体(18)上的光入射窗口(22)进入检测腔体(18)内,光探测器(21)通过检测腔体(18)上的光出射窗口(23)接收检测腔体(18)内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线,所述光探测器(21)根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。
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