[发明专利]MOCVD自动控制器

摘要

MOCVD自动控制器，由权限控管模块、资料收集模块、控制接口、设备接口、外部控制器、MOCVD设备、命令执行模块、集成面板、程序控制模块组成，其特征是集成面板的一端上侧设置控制接口，控制接口的下侧设置设备接口，集成面板的一侧上部设置资料收集模块，集成面板的一侧下部设置程序控制模块，集成面板的另一侧上部设置权限控管模块，集成面板的另一侧下部设置命令执行模块，外部控制器通过馈线与控制接口相连接，MOCVD设备通过馈线与设备接口相连接，本发明的有益效果是MOCVD自动控制器开发成本较低，控制精度较高，系统控制的相关功能能够适应生产要求。

主权项

MOCVD自动控制器，由权限控管模块（1）、资料收集模块（2）、控制接口（3）、设备接口（4）、外部控制器（5）、MOCVD设备（6）、命令执行模块（7）、集成面板（8）、程序控制模块（9）组成，其特征是集成面板（8）的一端上侧设置控制接口（3），控制接口（3）的下侧设置设备接口（4），集成面板（8）的一侧上部设置资料收集模块（2），集成面板（8）的一侧下部设置程序控制模块（9），集成面板（8）的另一侧上部设置权限控管模块（1），集成面板（8）的另一侧下部设置命令执行模块（7），外部控制器（5）通过馈线与控制接口（3）相连接，MOCVD设备（6）通过馈线与设备接口（4）相连接。