[发明专利]一种束流均匀性调节装置

摘要

本发明公开了一种束流均匀性调节装置，包括：束线通道(1)、电极腔体(2)、电极盖板(3)、引线安装法兰(4)、引线保护罩(5)、引线座(6)、短电极(7)、长电极(8)，其中包含上侧19组短电极(7)、下侧17组短电极(7)和2组长电极(8)，上下侧电极布置位置对称于束线通道(1)中心面；上下侧位置对称的电极由同一个电源供电；共有19个电源单独供电，通过调节电极的电压，在束线通道(1)内产生不同的电场分布，达到改变束流通过路径，调节粒子分布的目的。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

主权项

一种束流均匀性调节装置，包括：束线通道(1)、电极腔体(2)、电极盖板(3)、引线安装法兰(4)、引线保护罩(5)、引线座(6)、短电极(7)、长电极(8)，其特征在于：调节装置上下对称布置在束流通道(1)两侧。