[发明专利]具有图案的基板的分割方法

摘要

本发明是有关于一种能够对具有作为反射膜的金属膜的具有图案的基板良好地进行分割的方法。对由在与单位元件图案的形成面为相反侧的主面反复交互地积层相异的2个氧化膜而成的多层膜、与金属膜所积层而成的具有图案的基板进行分割的方法,具备：金属膜去除步骤,是在使前端具备刀前端的工具的前端位于多层膜与金属膜的界面的高度的状态下,使工具对该具有图案的基板相对地移动,借此在具有图案的基板沿着预先决定的加工预定线仅去除金属膜而形成加工沟槽；龟裂伸展加工步骤,是沿着加工预定线,借由各个单位脉冲光以在具有图案的基板形成的加工痕离散地位于加工沟槽的方式照射激光,使龟裂从各个加工痕伸展；以及裂断步骤,是对龟裂伸展后的具有图案的基板,沿着加工预定线进行裂断。

主权项

一种具有图案的基板的分割方法,是对在单结晶基板上二维地反复配置多个单位元件图案而构成的具有图案的基板进行分割并单片化,其特征在于：该具有图案的基板,是由在该单结晶基板中与该单位元件图案的形成面为相反侧的主面反复交互地积层相异的2个氧化膜而构成的多层膜、与金属膜积层而成；具备：金属膜去除步骤,是在使前端具备刀前端的工具的该前端位于该多层膜与该金属膜的界面高度的状态下,使该工具对该具有图案的基板相对地移动,借此在该具有图案的基板沿着预先决定的加工预定线仅去除该金属膜而形成加工沟槽；龟裂伸展加工步骤,是对已去除该金属膜后的该具有图案的基板,沿着该加工预定线,借由各个单位脉冲光以在该具有图案的基板形成的加工痕离散地位于该加工沟槽的方式照射激光,使龟裂于该具有图案的基板从各个该加工痕伸展；以及裂断步骤,是对经该龟裂伸展加工步骤的该具有图案的基板,沿着该加工预定线进行裂断。