[发明专利]晶体管、包含晶体管的可变电阻存储器件及其制造方法在审
申请号: | 201310446378.X | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN104009082A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 朴南均 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423;H01L27/24;H01L45/00;G11C13/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 俞波;毋二省 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种可变电阻存储器件,包括垂直晶体管,该垂直晶体管包括:有源柱体,有源柱体包括沟道区、形成于沟道区的一端的源极、以及形成于沟道区的另一端的轻掺杂漏极(LDD)区和漏极;第一栅电极,被形成为围绕轻掺杂漏极(LDD)区的外围,且具有第一功函数;以及第二栅电极,被形成为连接至第一栅电极并围绕沟道区,且具有高于第一功函数的第二功函数。 | ||
搜索关键词: | 晶体管 包含 可变 电阻 存储 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种晶体管,包括:有源柱体,所述有源柱体包括沟道区、形成于所述沟道区的一端的源极、以及形成于所述沟道区的另一端的轻掺杂漏极区和漏极;第一栅电极,所述第一栅电极被形成为围绕所述轻掺杂漏极区的外围,且具有第一功函数;以及第二栅电极,所述第二栅电极被形成为连接至所述第一栅电极并围绕所述沟道区,且具有高于所述第一功函数的第二功函数。
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