[发明专利]液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备有效
| 申请号： | 201310451784.5 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN104085195A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 邹赫麟;周毅;孙莎 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;珠海纳思达企业管理有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 116024 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备，其中方法包括：在基底的第一表面上形成压力致动部件；在所述基底上与所述第一表面相对的第二表面蚀刻形成凹槽；在所述凹槽中填充第一光刻胶形成牺牲层，所述牺牲层的表面与所述基底的第二表面齐平；在所述基底的第二表面和牺牲层的表面上形成喷孔板；采用第一显影液对牺牲层进行显影处理，以去除所述牺牲层，形成压力腔室。本发明提供的液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备，能够解决现有的液体喷射头制造工艺较复杂，且采用粘合剂容易降低打印质量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 制造 方法 打印 设备 | ||
【主权项】：
一种液体喷射头的制造方法，其特征在于，包括：在基底的第一表面上形成压力致动部件；在所述基底上与所述第一表面相对的第二表面蚀刻形成凹槽；在所述凹槽中填充第一光刻胶形成牺牲层，所述牺牲层的表面与所述基底的第二表面齐平；在所述基底的第二表面和牺牲层的表面上形成喷孔板；采用第一显影液对所述牺牲层进行显影处理，以去除所述牺牲层，形成压力腔室。
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