[发明专利]具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法有效
| 申请号： | 201310452821.4 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN104183452B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 崔大奎 | 申请（专利权）人： | 崔大奎 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04;H01J37/302 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 谢顺星,王莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统，从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运行状态，在发生非正常运行的情况下，可立即采取应对措施。此外，流程管理人员可在需要维护系统时，实时掌握相关信息，以提高维护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自主 管理 功能 远程 等离子体 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种具有自主管理功能的远程等离子体系统，包括：远程等离子体发生器，产生等离子体，以远程方式供应给工艺腔室；传感器部，包括一个以上的电压测量传感器，该电压测量传感器用于测量在上述远程等离子体发生器的发生器主体感应的电压；以及控制部，根据上述一个以上的电压测量传感器测量的电压值，生成上述远程等离子体发生器的运行状态信息。
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