[发明专利]真空动力沉积装置有效
| 申请号： | 201310464725.1 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN104046980B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李英昱;韩政洹 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;杨莘 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种真空动力沉积装置，其包括：驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 动力 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空动力沉积装置，包括：驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动，其中所述线性运动单元包括引导单元，所述引导单元被配置为在所述角度限制单元运动时引导所述角度限制单元的一部分，其中所述角度限制单元包括：角度限制板，位于对应的源单元之间并且被配置为向上和向下线性运动；以及滑动单元，联接至所述角度限制板和所述线性运动单元，并且被配置为在所述线性运动单元运动时在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上滑动。
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