[发明专利]抗蚀剂剥离液的调和方法和调和装置

摘要

本发明提供抗蚀剂剥离液的调和方法和调和装置。该调和方法的特征在于具备如下工序：向溶剂槽中称量再生液导入量的抗蚀剂剥离再生液的工序；计测前述溶剂槽中的第一溶剂的浓度的工序；算出第二溶剂的浓度的工序；从规定量和前述再生液导入量和前述第一溶剂的浓度算出第一溶剂追加投入量的工序；从前述规定量和前述再生液导入量和前述第二溶剂的浓度算出第二溶剂追加投入量的工序；向前述溶剂槽中投入前述第一溶剂追加投入量的前述第一溶剂和前述第二溶剂追加投入量的前述第二溶剂，从而得到调和溶剂的工序；边向调和槽中供给预定重量的纯水边称量的工序；以及将前述调和溶剂从前述溶剂槽输送至前述调和槽，从而得到抗蚀剂剥离液的工序。

主权项

1.一种抗蚀剂剥离液的调和方法，其特征在于，具备如下工序：边将抗蚀剂剥离再生液以再生液导入量供给至用于获得规定量的调和溶剂的溶剂槽中边称量的工序，所述抗蚀剂剥离再生液是从包含两种溶剂和水和已剥离的抗蚀剂成分且贮存在回收槽中的已使用抗蚀剂剥离废液中去除包含水分的低沸点物以及高沸点物而成的，其贮存在抗蚀剂剥离再生液槽中；计测所述溶剂槽中的所述抗蚀剂剥离再生液的第一溶剂的浓度的工序；算出第二溶剂的浓度的工序；从所述规定量和所述再生液导入量和所述第一溶剂的浓度算出第一溶剂追加投入量的工序；从所述规定量和所述再生液导入量和所述第二溶剂的浓度算出第二溶剂追加投入量的工序；向所述溶剂槽中投入所述第一溶剂追加投入量的所述第一溶剂和所述第二溶剂追加投入量的所述第二溶剂，从而得到调和溶剂的工序；边向调和槽中供给预定重量的纯水边称量的工序；以及将所述调和溶剂从所述溶剂槽输送至所述调和槽，从而得到抗蚀剂剥离液的工序。