[发明专利]一种脉冲电镀方法及其应用有效
| 申请号： | 201310500309.2 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103603018A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 卢红亮;朱尚斌;孙清清;丁士进;张卫 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C25D5/18 | 分类号： | C25D5/18;C25D7/12;C25D7/04;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体互连工艺技术领域，具体涉及一种脉冲电镀方法及其应用。本发明方法包括：若干个阶段，每个阶段包括若干个周期；每个周期为施加一个正向脉冲，再施加一个反向脉冲，反向脉冲的电流大于正向脉冲的电流，反向脉宽短于正向脉宽，反向脉间和正向脉间相同；其中，每个阶段中的正向脉间和反向脉间不变；后一个阶段的正向脉间短于前一个阶段的正向脉间。其优点在于反向的脉冲电流来加速离子浓度恢复，两次脉冲之间的电流关断时间提供一个弛豫时间，并且此周期中的退镀过程也提高了镀层表面平整性。本发明方法可用于金属互连结构的制备中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 电镀 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种脉冲电镀方法，其特征在于具体步骤为：分为若干个阶段，每个阶段包括若干个周期；每个所述周期为施加一个正向脉冲，再施加一个反向脉冲，反向脉冲的电流大于正向脉冲的电流，反向脉宽短于正向脉宽，反向脉间和正向脉间相同；其中，每个阶段中的正向脉间和反向脉间不变；后一个阶段的正向脉间短于前一个阶段的正向脉间。
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