[发明专利]空气净化系统和洁净室有效
| 申请号： | 201310502972.6 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103560100A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 杨庆峰;吕艳明;房毛毛;闫方亮;袁涛;刘祖宏;侯智;吴代吾 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种空气净化系统和洁净室，涉及空气净化技术领域，能够避免风机的气流在产品上形成紊流而对产品品质造成不良影响。该空气净化系统，包括设置有出风口的风机、设置于所述出风口下方的过滤器以及设置于所述过滤器下方的产品传输区域，还包括：设置在所述风机和过滤器之间的遮挡机构，所述遮挡机构包括可收展的挡风部和连接于所述挡风部的收展控制部。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 净化系统 洁净室 | ||
【主权项】：
一种空气净化系统，包括设置有出风口的风机、设置于所述出风口下方的过滤器以及设置于所述过滤器下方的产品传输区域，其特征在于，还包括：设置在所述风机和过滤器之间的遮挡机构，所述遮挡机构包括可收展的挡风部和连接于所述挡风部的收展控制部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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