[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201310505072.7 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103526164A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李元虎;马大伟;王玉 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杜秀科 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备，可以实现连续蒸镀，提高生产效率，降低生产成本。蒸镀设备包括：蒸镀室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘、夹具，以及至少一个加热坩埚的蒸镀装置；置换室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘；将蒸镀室与置换室连通或隔离的阀门；对置换室抽真空的抽真空设备；控制设备，控制夹具夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位，以及控制夹具在阀门打开时夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位。向蒸镀室内添加蒸镀材料无需降温和破真空，蒸镀装置可以进行连续蒸镀，大大提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘、夹具，以及至少一个加热坩埚的蒸镀装置；置换室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘；将蒸镀室与置换室连通或隔离的阀门；对所述置换室抽真空的抽真空设备；控制设备，控制夹具夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位，以及控制夹具在阀门打开时夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位。
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