[发明专利]防止探针测试载物台漏电的方法有效
| 申请号： | 201310505133.X | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103605064A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 黄维;唐涌耀;陈强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止探针测试载物台漏电的方法，采用如下步骤：S1，提供一待测器件；S2，将所述待测器件采用绝缘隔离的方式放置在探针测试载物台上；S3，对所述待测器件的待测区域进行探针扫描，得到一形貌图像；S4，根据所述形貌图像将两根探针分别点压在所述待测器件的任意两个阱接触电极上，检查并调整两根探针使其与两个阱接触电极均接触良好；S5，将其中一根探针从阱接触电极上移走，并点压在所述待测器件的待测电极上，接着将另一根探针点压的阱接触电极的偏置电压设置为零伏特，然后测试所述待测器件的待测电极。本发明使待测器件的测试尤其是漏电流的测试能够更准确的进行，大大提高了测试数据的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 探针 测试 载物台 漏电 方法 | ||
【主权项】：
一种防止探针测试载物台漏电的方法，应用于原子力纳米探针测试中，其特征在于，采用如下步骤：S1，提供一待测器件；S2，将所述待测器件采用绝缘隔离的方式放置在探针测试载物台上；S3，对所述待测器件的待测区域进行探针扫描，得到一形貌图像；S4，根据所述形貌图像将两根探针分别点压在所述待测器件的任意两个阱接触电极上，检查并调整两根探针使其与两个阱接触电极均接触良好；S5，将其中一根探针从阱接触电极上移走，并点压在所述待测器件的待测电极上，接着将另一根探针点压的阱接触电极的偏置电压设置为零伏特，然后测试所述待测器件的待测电极。
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