[发明专利]晶圆允收测试曲线自动输出系统有效
| 申请号： | 201310506630.1 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103605065A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李雨凡;莫保章;沈茜 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆允收测试曲线自动输出系统，包括：算法数据库，所述算法数据库中存储有曲线算法，所述曲线算法用于生成曲线文件；图表绘制模块，所述图表绘制模块将曲线文件导入并生成测试曲线；显示模块，所述显示模块接收所述测试曲线并进行显示输出。本发明的晶圆允收测试曲线自动输出系统能够自动对曲线文件进行导入，从而生成测试曲线，减少了绘制曲线所用的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆允收 测试 曲线 自动 输出 系统 | ||
【主权项】：
一种晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，包括：算法数据库，所述算法数据库中存储有曲线算法，所述曲线算法用于生成曲线文件；图表绘制模块，所述图表绘制模块将曲线文件导入并生成测试曲线；显示模块，所述显示模块接收所述测试曲线并进行显示输出。
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