[发明专利]一种OLED基板切割保护装置及切割方法有效
申请号: | 201310507985.2 | 申请日: | 2013-10-24 |
公开(公告)号: | CN103515546A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 向欣;魏锋;王小月;任海 | 申请(专利权)人: | 四川虹视显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明的一种OLED基板切割保护装置包括基台、机械手、匚型石英盖板和回风装置;所述基台用于放置OLED基板,匚型石英盖板的尺寸与切割后的OLED基板相应,用于保护OLED基板;所述匚型石英盖板包括石英导管,石英导管连接氮气源。基板切割方法主要包括步骤:a、将OLED基板转运到切割基台上并固定;b、控制机械手将石英盖板固定于OLED基板上方0.3mm~0.5mm的位置,石英盖板之间为OLED基板切割区域;c、向所述匚型石英盖板的石英导管通入氮气。有益效果在于避免了基板直接接触而对OLED基板的影响。利用本发明的方法进行OLED基板切割能够有效防止切割过程中产生的微尘对裸露的基板电极的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 oled 切割 保护装置 方法 | ||
【主权项】:
一种OLED基板切割保护装置,其特征在于,包括基台、机械手、匚型石英盖板和回风装置;所述基台用于放置OLED基板,匚型石英盖板的尺寸与切割后的OLED基板相应,用于保护OLED基板;所述匚型石英盖板包括石英导管,石英导管连接氮气源;回风装置位于OLED基板切割基线上方,用于抽排因基板切割产生的微尘;机械手用于固定匚型石英盖板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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