[发明专利]一种用于将晶圆安全传送至FOUP的传送装置及方法有效

专利信息
申请号: 201310525318.7 申请日: 2013-10-30
公开(公告)号: CN103560103A 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 詹云 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 杨立
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种用于将晶圆安全传送至FOUP的传送装置,包括轨道箱和滑动臂;所述轨道箱内部两侧壁上由上至下依次设置有若干个对称的轨道对,所述每个轨道对的竖直位置对应FOUP中的一个槽位;所述滑动臂包括底座和支架,所述底座为一矩形板状结构,其两侧各设有一个卡槽,用于将滑动臂卡于轨道箱的轨道对上;所述支架包括一连接板和一圆形托盘,所述连接板的一端水平固定在所述底座的中部,另一端连接所述圆形托盘;所述连接板与底座连接处设有用于调节连接板竖直高度的调节按钮;本发明结构简单,操作方便,定位准确,为手动传送晶圆至FOUP中提供定位和支撑,使晶圆传送过程可控、平滑,避免摩擦而产生缺陷。
搜索关键词: 一种 用于 将晶圆 安全 传送 foup 装置 方法
【主权项】:
一种用于将晶圆安全传送至FOUP的传送装置,其特征在于,包括轨道箱和滑动臂;所述轨道箱包括前后两端开口的箱体,所述轨道箱内部两侧壁上由上至下依次设置有若干个沿轨道箱水平长边方向且对称的轨道对,所述每个轨道对的竖直位置对应FOUP中的一个槽位;所述滑动臂包括底座和支架,所述底座为一矩形板状结构,其两侧各设有一个卡槽,用于将滑动臂卡于轨道箱的轨道对上;所述支架包括一连接板和一圆形托盘,所述连接板的一端水平固定在所述底座的中部,另一端连接所述圆形托盘;所述连接板与底座连接处设有用于调节连接板竖直高度的调节按钮。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司,未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310525318.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code