[发明专利]调整机械臂位置的方法无效
| 申请号： | 201310526668.5 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103552083A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 顾海龙;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J13/08 | 分类号： | B25J13/08 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调整机械臂位置的方法，属于集成电路领域。该方法涉及在机械臂存放晶圆的过程中，包括：通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；根据所述测距传感器感测的机械臂前端不同的抓手分别与所述测距传感器之间的垂直距离差，调整机械臂的水平位置；根据所述测距传感器感测的机械臂前端任一抓手、后端的手臂与所述测距传感器的垂直距离差，调整机械臂距离被存放晶圆的垂直距离。本发明中，通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；据此，客观高效地实现了调整机械臂的水平位置和垂直距离。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 机械 位置 方法 | ||
【主权项】：
一种调整机械臂位置的方法，其特征在于，在机械臂存放晶圆的过程中，包括：通过测距传感器感测机械臂前端不同的抓手、后端的手臂分别与所述测距传感器的垂直距离；根据所述测距传感器感测的机械臂前端不同的抓手分别与所述测距传感器之间的垂直距离差，调整机械臂的水平位置；根据所述测距传感器感测的机械臂前端任一抓手、后端的手臂与所述测距传感器的垂直距离差，调整机械臂距离被存放晶圆的垂直距离。
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