[发明专利]检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统有效
| 申请号： | 201310526787.0 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103792482B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 鹫尾贤一;山口宪荣 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 检查单元、探针卡、检查装置以及检查装置用的控制系统。提供了探针卡隔着真空室与连接体一体化的检查单元。该检查单元防止了设置在探针卡上的探针的顶端的平面度在探针卡由于真空室的吸力（负压）而与连接体一体化时劣化。检查单元包括：探针卡，其在其第一表面具有探针；和连接体，其隔着第一真空室与探针卡的第二表面一体化。第一真空室形成有多个室。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 单元 探针 装置 以及 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种检查单元，其包括：探针卡，所述探针卡在其第一表面具有探针；以及连接体，所述连接体隔着第一真空室与所述探针卡的第二表面一体化，其中，所述第一真空室形成有多个真空室，所述多个真空室中的真空度能够独立地被控制，所述第一真空室的多个真空室中的每一个真空室独立地包括密封构件，所述密封构件将所述第一真空室的多个真空室中的每一个真空室的内部与外部分开，所述第一真空室被构造成：通过设置所述多个真空室中的每一个真空室的真空度，以防止设置在所述探针卡上的多个所述探针的顶端的平面度劣化。
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