[发明专利]一种用于PoP封装的散热结构的制作方法有效
申请号: | 201310533245.6 | 申请日: | 2013-10-31 |
公开(公告)号: | CN103560090A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 侯峰泽;刘丰满 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于PoP封装的散热结构的制作方法,包括:制作上层封装基板,其中上层封装基板内有thermal via,还有若干层大面积铜箔,四周有填充满铜的半过孔;将多个上层封装导热芯片或器件贴在或者焊在上层封装基板中的多个thermal via上,形成上层封装体;制作下层封装体;在上层封装基板背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球并回流,形成BGA支撑球;在下层封装体基板上表面焊盘上刷焊锡膏,下层封装焊盘与上层封装体BGA支撑球对齐后,回流实现上层封装体与下层封装体互联;在下层封装体基板背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球,回流实现下层封装体植球;在上层封装体顶部上设置一个散热罩,在上层封装导热芯片或器件与散热罩之间涂一层高导热率热界面材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 pop 封装 散热 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
一种用于PoP封装的散热结构的制作方法,其特征在于,包括:步骤1:制作上层封装基板(100);步骤2:将多个上层封装导热芯片或器件(201)贴在或者焊在上层封装基板(100)中多个thermal via(101)上,形成上层封装体;步骤3:制作下层封装体;步骤4:在上层封装基板(100)背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球并回流,形成BGA支撑球(400);步骤5:在下层封装体(300)基板上表面焊盘上刷焊锡膏,下层封装焊盘与上层封装体BGA支撑球(400)对齐后,回流实现上层封装体与下层封装体互联;步骤6:在下层封装体(300)基板背面焊盘上刷锡膏,钢网植BGA球(500),回流实现下层封装体植球;步骤7:在上层封装体顶部上设置一个散热罩(700),在上层封装导热芯片或器件(201)与散热罩(700)之间涂一层高导热率热界面材料(600)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,未经中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310533245.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种可读取多种卡片的读卡装置
- 下一篇:一种油中气体检测装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造