[发明专利]矩形形成模具用基板有效
| 申请号： | 201310533747.9 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103809371B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 原田大实;冈藤大雄;山崎裕之;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/60 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形 形成 模具 用基板 | ||
【主权项】：
用作模具的将提供有拓扑图案的矩形基板，所述基板具有A侧和B侧的相对表面，所述A侧表面将提供有所述拓扑图案，其中所述A侧表面包括尺寸为1～50毫米×1～50毫米并将提供有所述拓扑图案的中心矩形区域，所述中心矩形区域具有至多350nm的平坦度。
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