[发明专利]触控面板传感器的制造方法及触控面板传感器

摘要

本发明提供一种无需降低性能而能够使触控面板的外观良好的触控面板传感器及其制造方法。与第2区域（20B）对应的部分通过注入氧离子而成为过氧化状态且成为不具有导电性的绝缘部（12B）。另一方面，在第1区域（20A）残留有抗蚀剂层（20），因此成为透明导电膜（12）由抗蚀剂层（20）覆盖的状态。由此，在该部分中，作为导电部（12A）通过与抗蚀剂层（20）的第1区域（20A）对应的图案进行图案形成。由此，对透明导电膜（12）进行电性图案形成。另一方面，导电部（12A）及绝缘部（12B）用光学上相同的材料以相同的膜厚形成，因此成为无法目视导电部（12A）的图案形状的状态。即，能够设为在光学上还未进行图案形成的状态。

主权项

一种触控面板传感器的制造方法，该触控面板传感器具备基板及形成于所述基板上的透明导电膜，该方法具备：准备工序，准备将所述透明导电膜形成于表面的所述基板；设置工序，将图案形成部件设置在所述透明导电膜上，该图案形成部件具有形成有覆盖所述透明导电膜的第1区域及使所述透明导电膜露出的第2区域的图案；图案形成工序，通过向与所述第2区域对应的部分的所述透明导电膜注入氧、氧离子、氮、氮离子、氮氧化物、及氮氧化物离子中的至少任一个照射物来形成绝缘部，将由所述第1区域覆盖的部分的所述透明导电膜作为导电部进行图案形成；及去除工序，从所述透明导电膜上去除所述图案形成部件。