[发明专利]压电装置在审
| 申请号： | 201310542595.9 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN103825572A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 有路巧;中武裕允;高桥岳宽 | 申请（专利权）人： | 日本电波工业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/125 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明;张洋 |
| 地址： | 日本东京涉谷区笹*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电装置，能够抑制引出电极的腐蚀等，并且抑制对振动特性的影响或激振电极等的电阻值的上升。本发明的压电装置包括：压电振动片，具有包围振动部的框部，且在框部具备与设置于振动部的激振电极电连接的引出电极；盖部，经由接合材料而接合于压电振动片的表面；以及底部，经由接合材料而接合于压电振动片的背面，且底部具备与引出电极电连接的外部电极。激振电极及引出电极包括：由能够形成钝态的金属所形成的基底膜，以及积层于基底膜的第一金属膜及第二金属膜，基底膜将其膜厚设定为1.0nm～8.0nm。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 装置 | ||
【主权项】：
一种压电装置，其特征在于包括：压电振动片，具有：包围振动部的框部，且在所述框部具备与设置于所述振动部的激振电极电连接的引出电极；盖部，经由接合材料而接合于所述压电振动片的表面；以及底部，经由接合材料而接合于所述压电振动片的背面，且所述底部具备与所述引出电极电连接的外部电极，其中，所述激振电极及所述引出电极包括：由能够形成钝态的金属所形成的基底膜，以及积层于所述基底膜的第一金属膜及第二金属膜，所述基底膜将其膜厚设定为1.0nm～8.0nm。
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