[发明专利]一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台

摘要

本发明公开了一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，属于材料制备加工领域。本发明改进了加热式沉积台的设计，在沉积台台面的内表面镀覆了一层100nm的氧化铬薄膜，利用氧化铬0.8的黑体系数提高了沉积台台面接收热辐射的效率。同时，对于密封在沉积台内部的加热体，其绝缘体支撑件被设计成陶瓷柱阵列，在不影响支撑功能的同时，提高了加热体的散热效率。这些改进使得这种新型的高温加热沉积台的加热效率与稳定性得以大幅提高，并可以在700℃～1000℃温度段内持续稳定工作，填补了加热式沉积台在高温段的技术缺口。

主权项

一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述高温加热沉积台包括沉积台台面（2）、沉积台基座（1）和内部发热装置，其中，沉积台台面（2）构成上层结构，沉积台基座（1）支撑了整个沉积台以及内部发热装置，所述沉积台基座（1）和沉积台台面（2）构成封装，将所述发热装置密封在内部；所述内部发热装置包括发热部件和支撑部件，所述发热部件由发热体电极（3）和发热体（5）构成；所述支撑部件由发热体支撑托盘（4）和陶瓷柱阵列（8）构成，对发热体（5）形成支撑。