[发明专利]一种纳米压印设备无效
申请号: | 201310550106.4 | 申请日: | 2013-11-08 |
公开(公告)号: | CN103558801A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 王晶 | 申请(专利权)人: | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
主分类号: | G05B19/05 | 分类号: | G05B19/05 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 成立珍 |
地址: | 214192 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳米压印设备,包括控制系统以及分别与之相连的真空系统、高压系统、温度控制系统、紫外系统和人机界面。本发明的提供的纳米压印设备,采用PLC作为控制器,对纳米压印的每个系统采取智能控制,确保纳米压印过程的精确、可靠,提高纳米压印的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】:
一种纳米压印设备,其特征在于:包括控制系统以及分别与之相连的真空系统、高压系统、温度控制系统、紫外系统和人机界面。
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