[发明专利]连线装置及应用其的OLED生产线有效
申请号: | 201310560236.6 | 申请日: | 2013-11-12 |
公开(公告)号: | CN104630713A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 陈宗烈 | 申请(专利权)人: | 江苏豪迈照明科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12;H05B33/10 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 224700 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供的连线装置及应用其的OLED生产线,其包括机架、箱体舱和工作舱,机架的底部具有多个移动轮;箱体舱固定在机架上,在箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架,旋转轴在旋转时带动至少两个工件框架沿旋转轴旋转,以使至少两个工件框架逐一经过与工作舱相对应的位置处;工作舱固定在机架上,工作舱具有第一密封机构和第二密封机构,工作舱通过第一密封机构与箱体舱连通或隔离,以及通过第二密封机构与真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。本发明提供的连线装置可以在真空或高纯氮气的保护下,实现对多个工件的传输和装卸。本发明提供的OLED生产线大大提高了OLED的生产效率和产量。 | ||
搜索关键词: | 连线 装置 应用 oled 生产线 | ||
【主权项】:
一种连线装置,用于向真空镀膜设备的真空腔室传输和装卸工件,其特征在于,包括机架、箱体舱和工作舱,其中所述机架的底部具有多个移动轮;所述箱体舱固定在所述机架上,在所述箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架,所述旋转轴在旋转时带动所述至少两个工件框架沿所述旋转轴的周向旋转,以使所述至少两个工件框架逐一经过与所述工作舱相对应的位置处;所述工作舱固定在所述机架上,所述工作舱具有第一密封机构和第二密封机构,所述工作舱通过所述第一密封机构与所述箱体舱连通或隔离,以及通过所述第二密封机构与所述真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。
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