[发明专利]自动光学检测方法及设备有效

专利信息
申请号: 201310573849.3 申请日: 2013-11-14
公开(公告)号: CN103558224A 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 葛永利;齐勤瑞 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例公开了一种自动光学检测方法及设备,涉及显示技术领域,能够在自动光学检测过程中,避免出现光强和待检测基板不适应的情况,从而保证自动检测结果的准确性。本发明实施例提供的自动光学检测方法,包括:在待检测基板上形成动态光强标记,所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分;根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强;利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。本发明实施例还提供了一种适用于上述自动光学检测方法的自动光学检测设备。
搜索关键词: 自动 光学 检测 方法 设备
【主权项】:
一种自动光学检测方法,其特征在于,包括:在待检测基板上形成动态光强标记,所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分;根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强,所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强;利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。
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