[发明专利]一种有机材料加热蒸镀源无效
| 申请号： | 201310596167.4 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103726022A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 林信志;张斌;王钊;倪蔚德 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机材料加热蒸镀源，包括一蒸镀腔室以及设于所述蒸镀腔室内的坩埚与加热器，所述加热器包括一条加热线，所述加热线分布于所述坩埚的外围，并且所述加热线在所述坩埚上部位置的分布密度大于在所述坩埚中间及下部位置的分布密度。本发明使用一条加热线，配合一组加热器，分成两个加热区块，在坩埚中间及下部的位置加热线分布密度，而坩埚上缘位置加热线排列较紧密，透过加热线在坩埚中间及下部与在坩埚上部的分布密度不同让坩埚上部得到比较高的温度，让坩埚上部的温度高于坩埚底部使蒸镀材料，使蒸镀材料不在坩埚上口凝结，解决了材料凝结阻塞问题。而且也因为仅需要使用一条加热线，因此仅需一组加热器即可实现，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 材料 加热 蒸镀源 | ||
【主权项】：
一种有机材料加热蒸镀源，包括一蒸镀腔室以及设于所述蒸镀腔室内的坩埚与加热器，其特征在于：所述加热器包括一条加热线，所述加热线分布于所述坩埚的外围，并且所述加热线在所述坩埚上部位置的分布密度大于在所述坩埚中间及下部位置的分布密度。
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