[发明专利]沉积源运送装置有效
| 申请号： | 201310608571.9 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104451585B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 高晟洙;朴旻亨;金在福;宋原准;李宽熙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 根据本发明的一方面的沉积源运送装置包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 运送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种沉积源运送装置，包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上，在所述导轨和所述支撑部件之间设置有缓冲部件。
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