[发明专利]整合高低温测试的电子组件检测设备及其检测方法在审
申请号: | 201310618939.X | 申请日: | 2013-11-28 |
公开(公告)号: | CN104515915A | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 吴信毅;沈轩任;陈建名;欧阳勤一 | 申请(专利权)人: | 致茂电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 中国台湾桃园县龟*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种整合高低温测试的电子组件检测设备及其检测方法,其包括温控区、检测区、承载盘输送装置、入料载送器、出料载送器以及芯片搬运装置。其中,承载盘输送装置用于将待测芯片承载盘输送至温控区内;入料载送器用于在检测区和温控区之间载送芯片;出料载送器用于载送芯片离开检测区;芯片搬运装置用于在待测芯片承载盘、温控区的芯片温控模块、入料载送器、检测区的测试台以及出料载送器之间搬运芯片。由此不仅可简化芯片的搬运流程,且可大幅提高检测效率,还可增加受温度调控的芯片的数量,并缩短温控流体的管路。 | ||
搜索关键词: | 整合 低温 测试 电子 组件 检测 设备 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种整合高低温测试的电子组件检测设备,包括:温控区,其内设置有芯片温控模块;检测区,其内设置有测试台;承载盘输送装置,其用于将待测芯片承载盘输送至该温控区内,该待测芯片承载盘承载有至少一个芯片;入料载送器,用于在该检测区和该温控区之间载送该至少一个芯片;出料载送器,其用于载送该至少一个芯片离开该检测区;以及芯片搬运装置,其用于在该待测芯片承载盘和该芯片温控模块之间、该芯片温控模块和该入料载送器之间、该入料载送器和该测试台之间、以及该测试台和该出料载送器之间搬运该至少一个芯片。
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