[发明专利]扫描机台程式控制方法

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一扫描机台程式控制方法，包括步骤定义扫描程式的机台目录及文件位置；控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；控制系统获取扫描程式文件列表信息，并对文件进行解析；提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，并存储至控制系统。该方法生成的扫描程式关键值文件包括所有扫描机台、所有扫描程式的所有文件信息，在需要对某些关键值进行查询或提取时，只需将扫描程式关键值文件备份至本地进行搜索或筛选，即可自动生成包括且仅包括所需关键值信息的表格，能够实现对多产品、多半导体层的多扫描机台程式及关键参数值的统一控制，实现所需扫描程式信息的快速、高效查询和提取。

主权项

一种扫描机台程式控制方法，其特征在于，包括步骤：步骤S1：定义扫描程式的机台目录及文件位置；步骤S2：控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置；步骤S3：控制系统获取扫描程式文件列表信息，并对文件进行解析；其中，当控制系统上无扫描程式关键值文件存储时，即：步骤S3中第一次获取扫描程式文件列表信息、并对文件进行解析时，提取扫描程式信息后，生成初始扫描程式关键值文件；而当控制系统上已存储有扫描程式关键值文件时，则重复执行步骤S3，此时，控制系统通过获取扫描程式文件列表信息和对文件的解析，自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态；步骤S4：提取扫描程式信息，生成扫描程式关键值文件，并存储至控制系统；其中，各扫描机台中的扫描程式的机台目录均采用相同的定义规则，以及扫描程式的.xml文件中扫描设定关键值采用相同的命名；当扫描程式机台目录中文件有新增、删除或修改时，控制系统更新扫描程式关键值文件中扫描程式的信息；即：当扫描程式机台目录中文件有更新时，执行步骤S4，更新扫描程式关键值文件；当扫描程式机台目录中文件无更新时，不执行步骤S4，间隔一定时间后，再次执行步骤S3。