[发明专利]机台相互共用尾气处理装置的方法有效
| 申请号： | 201310631489.8 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103699065A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张啸;刘玮;徐伯山;叶青;周峻晨;冯君;吕杰;黄磊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机台相互共用尾气处理装置的方法，包括如下步骤：将相邻两台机台的尾气处理装置的进气管连接，并于连接处采用气动阀隔开，同时将所述两台机台的尾气处理装置的报警线路分别并联入所述两台机台的互锁装置；若所述两台机台其中一台的尾气处理装置发生故障，则两台机台共用另一机台的尾气处理装置；若所述两台机台的尾气处理装置均发生故障时，该两台机台停机。采用本发明的机台相互共用尾气处理装置的方法，可以实现两台机台的尾气处理装置互相备份，提升了机台的运行时间，进而提高了对芯片进行镀膜的效率，且本发明技术设计科学合理，操作简单可行。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 相互 共用 尾气 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种机台相互共用尾气处理装置的方法，应用于镀膜工序中，所述镀膜工序的设备至少包括两台机台，每台机台均设有一个尾气处理装置，其特征在于，包括如下步骤：S1，将相邻两台机台的尾气处理装置的进气管连接，并于连接处采用气动阀隔开，同时将所述两台机台的尾气处理装置的报警线路分别并联入所述两台机台的互锁装置；S2，若所述两台机台其中一台的尾气处理装置发生故障，且另一机台的尾气处理装置正常工作时，则开启所述气动阀，以将尾气处理装置发生故障的机台的尾气导入另一机台的尾气处理装置；S3，若所述两台机台的尾气处理装置均发生故障时，则触发所述两台机台的互锁装置，该两台机台停机。
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