[发明专利]自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置

摘要

本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置。本发明解决了现有MEMS加速度传感器静态标定测试设备标定校准耗时多、标定校准效率低、以及标定校准能力有限的问题。自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置，包括自动加载平台、反馈式自动翻滚平台、控制系统、数据采集系统；所述自动加载平台包括竖直加载平台、水平加载平台、槽型底座；所述竖直加载平台包括左竖直电机、左竖直丝杠副、左竖直导轨副、左L型底板、右竖直电机、右竖直丝杠副、右竖直导轨副、右L型底板；所述反馈式自动翻滚平台包括半封闭槽型载台、倾角传感器。本发明适用于MEMS加速度传感器的标定校准。

主权项

一种自动批量化MEMS加速度传感器静态翻滚试验装置，其特征在于：包括自动加载平台、反馈式自动翻滚平台、控制系统、数据采集系统；所述自动加载平台包括竖直加载平台、水平加载平台、槽型底座（1）；所述竖直加载平台包括左竖直电机（2）、左竖直丝杠副（3）、左竖直导轨副（4）、左L型底板（5）、右竖直电机（6）、右竖直丝杠副（7）、右竖直导轨副（8）、右L型底板（9）；所述水平加载平台包括左水平电机（10）、左水平丝杠副（11）、左水平导轨副（12）、左连接件（13）、步进电机（14）、左销轴（15）、右水平电机（16）、右水平丝杠副（17）、右水平导轨副（18）、右连接件（19）、右销轴（20）；所述反馈式自动翻滚平台包括半封闭槽型载台（21）、倾角传感器（22）；所述控制系统包括PLC（23）、计算机（24）；所述数据采集系统包括数据采集卡（25）；其中，左竖直电机（2）的机座固定于槽型底座（1）的左侧内槽壁；左竖直丝杠副（3）的丝杠上端与左竖直电机（2）的输出轴连接；左竖直导轨副（4）的导轨竖直固定于槽型底座（1）的左侧内槽壁；左L型底板（5）的竖直板外侧壁分别与左竖直丝杠副（3）的螺母右侧外壁和左竖直导轨副（4）的滑块右侧壁固定；右竖直电机（6）的机座固定于槽型底座（1）的右侧内槽壁；右竖直丝杠副（7）的丝杠上端与右竖直电机（6）的输出轴连接；右竖直导轨副（8）的导轨竖直固定于槽型底座（1）的右侧内槽壁；右L型底板（9）的竖直板外侧壁分别与右竖直丝杠副（7）的螺母左侧外壁和右竖直导轨副（8）的滑块左侧壁固定；左水平电机（10）的机座固定于左L型底板（5）的竖直板内侧壁；左水平丝杠副（11）的丝杠左端与左水平电机（10）的输出轴连接；左水平导轨副（12）的导轨水平固定于左L型底板（5）的水平板内侧壁；左连接件（13）的下侧壁与左水平导轨副（12）的滑块上侧壁固定；左连接件（13）上水平贯通开设有左连接孔和电机安装孔；左水平丝杠副（11）的螺母套接固定于左连接孔内；步进电机（14）的机座套接固定于电机安装孔内；左销轴（15）的左端与步进电机（14）的输出轴连接；右水平电机（16）的机座固定于右L型底板（9）的竖直板内侧壁；右水平丝杠副（17）的丝杠右端与右水平电机（16）的输出轴连接；右水平导轨副（18）的导轨水平固定于右L型底板（9）的水平板内侧壁；右连接件（19）的下侧壁与右水平导轨副（18）的滑块上侧壁固定；右连接件（19）上水平贯通开设有右连接孔；右水平丝杠副（17）的螺母外侧壁套接固定于右连接孔内；右销轴（20）的右端面与右连接件（19）的左侧壁固定；半封闭槽型载台（21）的左侧槽壁贯通开设有左销孔；左销孔与左销轴（15）位置正对；半封闭槽型载台（21）的右侧槽壁贯通开设有右销孔；右销孔与右销轴（20）位置正对；倾角传感器（22）固定于半封闭槽型载台（21）的内侧端壁；PLC（23）的信号输出端分别与左竖直电机（2）的信号输入端、右竖直电机（6）的信号输入端、左水平电机（10）的信号输入端、步进电机（14）的信号输入端、右水平电机（16）的信号输入端连接；计算机（24）的信号输出端与PLC（23）的信号输入端连接；数据采集卡（25）的信号输入端与倾角传感器（22）的信号输出端连接；数据采集卡（25）的信号输出端与计算机（24）的信号输入端连接。