[发明专利]沉积源组件

摘要

一种用于将沉积材料沉积在配置在腔中的衬底上的沉积源组件，沉积源组件包括：配置在腔中的沉积源，沉积源被配置成将沉积材料沉积在衬底上；穿过腔的至少一个壁的电极，电极被配置成向沉积源提供电力；配置在电极与腔的壁之间的绝缘部件；以及配置在绝缘部件上从而至少覆盖绝缘部件的一部分的绝缘部件盖。

主权项

1.一种用于将沉积材料沉积在配置于腔中的衬底上的沉积源组件，包括：沉积源，设置在所述腔中用于将所述沉积材料沉积在所述衬底上；电极，所述电极穿过所述腔的至少一个壁，并被配置成向所述沉积源提供电力；绝缘部件，设置在所述电极与所述腔的壁之间；以及绝缘部件盖，设置在所述绝缘部件上以至少覆盖所述绝缘部件的一部分，其中所述绝缘部件盖包括：基座，所述基座突出超过所述绝缘部件，并完全覆盖所述绝缘部件的面对所述沉积源的顶表面；以及突出部，所述突出部沿着远离所述沉积源的方向突出至所述绝缘部件的侧面的上部。