[发明专利]晶圆夹具

摘要

本发明公开了一种晶圆夹具，包括一第一夹合件及一第二夹合件。第一夹合件包括一第一板体及连接于第一板体的一第一夹爪。第二夹合件位于第一夹合件的一侧，且包括一第二板体及连接于第二板体的一第二夹爪。第一夹合件与第二夹合件适于相对移动，以夹持或释放一晶圆。当第一夹合件与第二夹合件相互靠拢时，第一夹爪与第二夹爪共同承靠晶圆的侧边，且第一板体与第二板体在晶圆上的垂直投影至少覆盖位于晶圆中央的一实质上为圆形的区域。

主权项

1.一种晶圆夹具，包括：一第一夹合件，包括一第一板体及连接于第一板体的至少一第一夹爪；以及一第二夹合件，位于该第一夹合件的一侧，且包括一第二板体及连接于第二板体的至少一第二夹爪，该第一夹合件与该第二夹合件适于相对移动，以夹持或释放一晶圆，其中当该第一夹合件与该第二夹合件相互靠拢时，该第一夹爪与该第二夹爪共同承靠该晶圆的侧边，且该第一板体与该第二板体在该晶圆上的垂直投影至少覆盖位于该晶圆中央的一圆形的区域；其中，该第一夹合件及该第二夹合件使用大面积的该第一板体与该第二板体，使该第一板体与该第二板体相互靠拢后的总面积能尽可能地接近晶圆的有源面的面积；该第一板体与该第二板体分别呈半圆形，且该第一板体与该第二板体所覆盖的该区域位于该晶圆的一有源面上。