[发明专利]光刻胶供给装置有效
| 申请号： | 201310662932.8 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103645606A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 张连坤;李冠军;贾洪元;魏崇喜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻胶供给装置，涉及基板生产配件技术，解决了使用现有技术中的光刻胶供给单元导致的容器易破裂，且光刻胶浪费的问题。本发明实施例中，所述光刻胶供给装置包括固定支架，所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器，所述容器在所述固定支架上倒立放置；所述容器为密封结构，所述容器顶端穿设有输气管及输送管；所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置；所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部；所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞。本发明主要应用在液晶显示器生产过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶供给装置，其特征在于，包括固定支架，所述固定支架上固定有盛装光刻胶的容器，所述容器在所述固定支架上倒立放置；所述容器为密封结构，所述容器顶端穿设有输气管及输送管；所述输气管一端位于所述容器内、另一端连接有供气装置；所述输送管一端的端面与所述容器内顶端共面、另一端延伸出所述容器外部；所述输气管位于所述容器内的端口设有管塞。
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