[发明专利]绝缘基板上制作导电线路的方法以及该方法制作的电路板在审

专利信息
申请号: 201310669547.6 申请日: 2013-12-10
公开(公告)号: CN103857189A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: 陈华 申请(专利权)人: 深圳市瑞丰光电子股份有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K1/02
代理公司: 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人: 张全文
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及电路板,提供一种绝缘基板上制作导电线路的方法,主要现在绝缘基板上沉积ZnO薄膜,然后在ZnO薄膜上铺设光刻胶,通过曝光、显影以及蚀刻工艺将ZnO薄膜支撑线路图形,再去掉剩余的光刻胶后漏出剩余的ZnO薄膜,最后在剩余的ZnO薄膜上镀设导电层;还提供了一种电路板。本发明的方法在绝缘基板上沉积ZnO薄膜,然后在ZnO薄膜上制作导电层形成导电线路,导电层与绝缘基板之间通过ZnO薄膜进行连接,可以大大增强导电层附着于绝缘基板上的稳定性,同时因为ZnO薄膜的特性使得导电层的均匀性较好,粗糙度也比较低;本发明电路板的导电线路具有较强的稳定性,而且比较容易与外接的电子元器件贴合连接。
搜索关键词: 绝缘 基板上 制作 导电 线路 方法 以及 电路板
【主权项】:
一种绝缘基板上制作导电线路的方法,其特征在于:包括如下步骤:取一绝缘基板,在该绝缘基板表面沉积ZnO薄膜或掺杂杂质的ZnO薄膜;在ZnO薄膜上涂设光刻胶层,取预先制作有线路图形的底片覆盖于光刻胶层上,然后对其进行曝光;曝光后,去掉该底片,采用显影药水处理所述光刻胶层,剩余的光刻胶层形成线路图形,并裸露出被处理的光刻胶层所覆盖的ZnO薄膜;蚀刻裸露的ZnO薄膜,并去掉剩余的光刻胶层,露出剩余的ZnO薄膜;将所述绝缘基板置于电解槽内,调节电镀参数,于剩余的ZnO薄膜表面形成导电层。
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