[发明专利]气体激光器、气体激光器气路系统及其防油耗控制方法

摘要

本发明提供一种气体激光器气路系统，包括谐振腔、气体驱动装置、抽真空装置、防润滑油损耗装置及控制装置；气体驱动装置与谐振腔呈回路连通；抽真空装置的第一连接端通过第四管路连通于谐振腔的输出端，而其第二连接端通过第五管路与气体驱动装置的输出端连通；防润滑油损耗装置设于第五管路上并与气体发生装置、抽真空装置连通。由于在气路系统配置有防润滑油损耗装置，除了避免润滑油对谐振腔、抽真空装置的影响，还能将非正常损耗的润滑油收集再用。本发明还提供一种气体激光器和气体激光器气路系统的防油耗的控制方法。

主权项

一种气体激光器气路系统，其特征在于，包括：谐振腔；用于将工作气体驱动至所述谐振腔内部的气体驱动装置，所述气体驱动装置的输出端通过第二管路连通于所述谐振腔的输入端，所述气体驱动装置的输入端通过第三管路连通于所述谐振腔的输出端；用于将所述谐振腔内部抽真空的抽真空装置，所述抽真空装置的第一连接端通过第四管路连通于所述谐振腔的输出端，且所述抽真空装置的第二连接端通过第五管路与所述气体驱动装置的输出端连通；用以将所述气体驱动装置的非正常损耗润滑油收集并将其返还至所述气体驱动装置的防润滑油损耗装置，所述防润滑油损耗装置设于所述第五管路上并与所述抽真空装置连通；及用以控制所述气体驱动装置、所述抽真空装置及所述防润滑油损耗装置的控制装置，其分别与所述气体驱动装置、所述抽真空装置、所述防润滑油损耗装置连接。