[发明专利]一种分划板的制造方法有效
| 申请号： | 201310684808.1 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103777364B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 吴空物;王静 | 申请（专利权）人： | 北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/32 | 分类号： | G02B27/32;G03F9/00;G02B23/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 彭秀丽 |
| 地址： | 100085 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分划板的制造方法，包括如下步骤在光学元件上均匀涂覆光刻胶，并烘制成膜；利用绘图仪在光学元件上的光刻胶上制作镂空对位标；通过显微镜对准系统将带有实心对位标图案的母板与光学元件上的镂空对位标进行对位贴合，并将贴合后的光学元件进行曝光处理；将曝光后的光学元件置于显影液中进行光刻胶显影；清洗显影后的光学元件，制得分划板。本发明通过在光学元件上涂覆黑胶或深颜色的光刻胶，并采用激光绘图仪在光刻胶上精确制作镂空对位标，可实现母板与光学元件的精确定位贴合，提高了分划板的合格率，且制造工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分划板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种分划板的制造方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：步骤一，在光学元件上均匀涂覆光刻胶，并烘制成膜；步骤二，利用绘图仪在光学元件上的光刻胶上制作镂空对位标；步骤三，通过显微镜对准系统将带有实心对位标图案的母板与光学元件上的镂空对位标进行对位贴合，并将贴合后的光学元件进行曝光处理；步骤四，将曝光后的光学元件置于显影液中进行光刻胶显影；步骤五，清洗显影后的光学元件，制得分划板。
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