[发明专利]刻蚀机的窗口遮挡装置有效
| 申请号： | 201310707894.3 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104733276A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 徐岩 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 彭秀丽;鲍相如 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刻蚀机的窗口遮挡装置，属于半导体及平板显示行业刻蚀技术领域。其包括安装于刻蚀机箱体（5）内壁上，并位于窗口（1）前侧的透明遮挡物（2），所述透明遮挡物（2）为耐腐蚀件。该刻蚀机的窗口遮挡装置避免了刻蚀过程中等离子体对刻蚀终点侦测器窗口或刻蚀机上其他窗口的损伤，同时不影响光强收集，有效降低了生产成本，特别适用于干刻蚀生产设备。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 窗口 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
一种刻蚀机的窗口遮挡装置，其特征在于：包括安装于刻蚀机箱体（5）内壁上，并位于窗口（1）前侧的透明遮挡物（2），所述透明遮挡物（2）为耐腐蚀件。
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