[发明专利]外观检查装置以及外观检查方法无效
| 申请号： | 201310717173.0 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103837078A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 上村拓人;伊藤隆;山崎敬 | 申请（专利权）人： | 株式会社拓普康 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 容易且详细检测试样表面的三维结构的缺陷。一种外观检查装置100，从照明试样S取得的图像数据检查试样S的外观检测缺陷。有配置试样S的试样台110；观察试样S的显微镜12；有第一光源131从显微镜120的观察方向对试样S照射照明光的第一照明装置130；有第二光源151并从斜向对试样S照射照明光的第二照明装置150；摄像用照明装置照明150的试样S通过显微镜120得到的图像并输出彩色图像数据的彩色照相机140；根据彩色图像数据检查试样S外观的处理装置160。第一照明装置130、第二照明装置150有对试样S照射不同波长范围的照明光的第一波长选择结构132及第二波长选择结构152，从不同角度照明试样S。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种外观检查装置，具备：配置试样的试样台；具备光源并对上述试样照射照明光的照明装置；对用上述照明装置照明的上述试样进行摄像并输出彩色图像数据的摄像单元；以及根据上述彩色图像数据检查上述试样的外观的检查处理部，该外观检查装置的特征在于，上述照明装置对于上述试样以不同的角度照射不同的波长范围的照明光。
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