[发明专利]电容屏触控面板及其间隙部分氧化铟锡薄膜的刻蚀方法有效
| 申请号： | 201310722462.X | 申请日： | 2013-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104731422B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 安乐平;洪耀;王龙;高明;尤沛升 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/044 | 分类号： | G06F3/044 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 穆瑞丹 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电容屏触控面板及其间隙部分氧化铟锡薄膜的刻蚀方法，包括利用激光蚀刻线将间隙部分的ITO分割成若干ITO段，各个所述ITO段相互独立且互不连接。本发明的电容屏触控面板及其间隙部分氧化铟锡薄膜的刻蚀方法生产效率高，而且刻蚀后的触摸屏产品显示效果佳。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 氧化铟锡薄膜 触控面板 电容屏 触摸屏产品 激光蚀刻线 互不连接 生产效率 显示效果 分割 | ||
【主权项】：
1.一种电容屏触控面板间隙部分氧化铟锡薄膜的刻蚀方法，其特征在于：所述刻蚀方法包括利用激光刻蚀线将间隙部分(2)的ITO分割成若干ITO段(5)，各个所述ITO段(5)相互独立且互不连接；所述ITO段(5)采用两道激光刻蚀线交叉走线形成，所述两道激光刻蚀线的中心线在趋近交叉点(7)过程中的距离小于一道激光刻蚀线的宽度。
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