[发明专利]半导体制造设备的状态控制系统及方法

摘要

本发明公开了一种半导体制造设备的状态控制系统及方法。其中方法包括对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤；所述对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置的步骤具体包括对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；对所划分出的一级状态类型的优先权级别进行设置；对所划分出的一级状态类型下的半导体制造设备状态再次进行分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态。所设置的塔灯状态通过半导体制造设备中的控制系统发送到塔灯，控制塔灯按当前的设备状态进行显示。增加了塔灯状态设定的灵活性，提高了工作效率。

主权项

1.一种半导体制造设备的状态控制系统，其特征在于，包括设备状态显示控制子系统；所述设备状态显示控制子系统用于对半导体制造设备中的塔灯进行实时设置；所述设备状态显示控制子系统，包括第一分类模块、优先权设置模块、第二分类模块以及塔灯状态设置模块，其中：所述第一分类模块，用于对半导体制造设备的各种状态进行分类，划分出一级状态类型；所述优先权设置模块，用于设置所述第一分类模块划分的各个一级状态类型的优先权级别；所述第二分类模块，用于对所述第一分类模块所划分的各个一级状态类型进行再次分类，每个一级状态类型划分为多个二级状态类型；所述塔灯状态设置模块，用于设置不同等级下的半导体制造设备状态对应的塔灯状态，且可以改变任一半导体制造设备状态所对应的塔灯状态。