[发明专利]石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉有效
申请号: | 201310739765.2 | 申请日: | 2013-12-27 |
公开(公告)号: | CN103743239A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 余威 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉,该石英卡夹装置包括:一底座(20)、固定安装于底座(20)上的数根石英柱(30)、位于底座(20)上方的石英底板(40)及位于石英底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的数层石英卡板(50);所述石英底板(40)上对应石英柱(30)设有数个圆孔(42),该圆孔(42)的直径大于所述石英柱(30)的直径,所述石英柱(30)穿过所述圆孔(42)并在圆孔(42)下方设有紧固部件(60),进而使石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上,通过扩大石英底板圆孔的直径,保证石英柱轻微倾斜时不会与石英底板发生触碰,避免石英底板因触碰产生裂纹,影响生产。 | ||
搜索关键词: | 石英 装置 及其 制作方法 oled 高温 | ||
【主权项】:
一种石英卡夹装置,其特征在于,包括:一底座(20)、固定安装于底座(20)上的数根石英柱(30)、位于底座(20)上方的石英底板(40)及位于石英底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的数层石英卡板(50);所述石英底板(40)上对应石英柱(30)设有数个圆孔(42),该圆孔(42)的直径大于所述石英柱(30)的直径,所述石英柱(30)穿过所述圆孔(42)并在圆孔(42)下方设有紧固部件(60),进而使石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上。
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