[发明专利]石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉有效

专利信息
申请号: 201310739765.2 申请日: 2013-12-27
公开(公告)号: CN103743239A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 余威 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;H01L51/56
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉,该石英卡夹装置包括:一底座(20)、固定安装于底座(20)上的数根石英柱(30)、位于底座(20)上方的石英底板(40)及位于石英底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的数层石英卡板(50);所述石英底板(40)上对应石英柱(30)设有数个圆孔(42),该圆孔(42)的直径大于所述石英柱(30)的直径,所述石英柱(30)穿过所述圆孔(42)并在圆孔(42)下方设有紧固部件(60),进而使石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上,通过扩大石英底板圆孔的直径,保证石英柱轻微倾斜时不会与石英底板发生触碰,避免石英底板因触碰产生裂纹,影响生产。
搜索关键词: 石英 装置 及其 制作方法 oled 高温
【主权项】:
一种石英卡夹装置,其特征在于,包括:一底座(20)、固定安装于底座(20)上的数根石英柱(30)、位于底座(20)上方的石英底板(40)及位于石英底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的数层石英卡板(50);所述石英底板(40)上对应石英柱(30)设有数个圆孔(42),该圆孔(42)的直径大于所述石英柱(30)的直径,所述石英柱(30)穿过所述圆孔(42)并在圆孔(42)下方设有紧固部件(60),进而使石英底板(40)支撑于所述石英柱(30)上。
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