[发明专利]电路宽度变细缺陷防止装置及方法有效
| 申请号： | 201310741447.X | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103917051B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 成定庆;丘奉完;赵元佑 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 金光军;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电路宽度变细缺陷防止装置及方法，并且通过包括以下装置能够防止由于在特定部分上的过度蚀刻引起的电路宽度变细缺陷（即，电路宽度的减少）：存储装置，用于存储根据弱部分的类型分类的坝设计信息；分析装置，用于分析第一设计信息以推断弱部分的类型和位置；匹配装置，用于从存储在存储装置中的坝设计信息中提取与弱部分的类型对应的坝设计信息；以及改变装置，用于改变第一设计信息以将根据通过匹配装置提取的坝设计信息的坝增加至通过分析装置推断的弱部分的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 设计信息 电路 变细 存储装置 分析装置 匹配装置 缺陷防止 推断 存储 改变装置 过度蚀刻 分类 分析 | ||
【主权项】：
1.一种通过使用作为与用于形成电路图案的设计相关的数据的第一设计信息和第二设计信息来防止弱部分的电路宽度变细缺陷的电路宽度变细缺陷防止装置，包括：存储装置，用于存储根据所述弱部分的类型分类的坝设计信息；分析装置，用于分析所述第一设计信息以推断所述弱部分的所述类型和所述弱部分的位置；匹配装置，用于从存储在所述存储装置中的所述坝设计信息中提取与通过所述分析装置推断的所述弱部分的所述类型对应的所述坝设计信息；以及改变装置，用于通过改变所述第一设计信息产生所述第二设计信息，以将根据由所述匹配装置提取的所述坝设计信息的坝增加至通过所述分析装置推断的所述弱部分的所述位置。
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